瑞士Admotec Precision變壓器RO系列

　　瑞士Admotec-Precision（簡(jiǎn)稱(chēng)Admotec）是精密磁傳感器與旋轉(zhuǎn)變壓器領(lǐng)域的制造商，1987年成立于瑞士蘇黎世，核心技術(shù)為Rotasyn實(shí)心轉(zhuǎn)子無(wú)繞組旋轉(zhuǎn)變壓器，專(zhuān)注于ji端工況下的高精度角度/位置反饋，廣泛服務(wù)于半導(dǎo)體、航空航天、汽車(chē)、核能、工業(yè)自動(dòng)化等行業(yè)。

　　Admotec-Precision的RO系列旋轉(zhuǎn)變壓器雖非專(zhuān)為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)，但其高精度、強(qiáng)環(huán)境適應(yīng)性、高可靠性及兼容性等特性，使其在該領(lǐng)域具備潛在應(yīng)用價(jià)值，尤其在半導(dǎo)體制造設(shè)備的精密運(yùn)動(dòng)控制與ji端環(huán)境監(jiān)測(cè)中可發(fā)揮關(guān)鍵作用。

　　核心應(yīng)用場(chǎng)景與推薦型號(hào)（優(yōu)先級(jí)排序）

　　1.光刻機(jī)（光刻物鏡/晶圓臺(tái)/雙工件臺(tái)）

　　光刻物鏡調(diào)焦/調(diào)平電機(jī)角度反饋：RO2010（20mm定子，≤4mm軸徑），高速微型，無(wú)接觸免維護(hù)，適配真空腔與高頻動(dòng)態(tài)響應(yīng)

　　晶圓臺(tái)/雙工件臺(tái)旋轉(zhuǎn)軸定位：RO3620/RO5032，多極對(duì)版本提升分辨率至±4弧分，配合高帶寬RDC實(shí)現(xiàn)納米級(jí)角度閉環(huán)

　　物鏡溫控模塊閥門(mén)角度反饋：RO2613，小型化，介質(zhì)兼容，溫控精度輔助至±0.1°C

　　2.刻蝕機(jī)（反應(yīng)腔/偏壓電極/氣體閥門(mén)）

　　反應(yīng)腔高壓工藝閥門(mén)角度控制：RO5032-K（寬溫+鈦合金+高壓密封），耐受1600bar，耐腐蝕性氣體（如CF4、SF6）

　　偏壓電極/靜電卡盤(pán)（ESC）旋轉(zhuǎn)定位：RO3620，強(qiáng)EMI免疫，適配等離子體環(huán)境

　　刻蝕腔清潔機(jī)器人關(guān)節(jié)反饋：RO2010/RO2613，小型化，高速，潔凈室兼容

　　3.離子注入機(jī)/薄膜沉積（CVD/PVD/ALD）

　　離子束角度與掃描機(jī)構(gòu)定位：RO3620，高速高精度，寬溫，強(qiáng)EMI免疫

　　氣體流量/工藝壓力閥門(mén)控制：RO5032，油浸/介質(zhì)兼容，無(wú)密封設(shè)計(jì)，降低維護(hù)成本

　　沉積腔旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)角度反饋：RO6040，中型定子，適配重載與高精度閉環(huán)

　　4.晶圓傳輸與自動(dòng)化（機(jī)械臂/EFEM/AMHS）

　　晶圓傳輸機(jī)器人關(guān)節(jié)電機(jī)角度反饋：RO2010/RO2613，低慣性，高速，小型化，適配潔凈室與頻繁啟停

　　真空EFEM（設(shè)備前端模塊）旋轉(zhuǎn)軸定位：RO3620，無(wú)軸承無(wú)框架，真空兼容，密封電纜

　　三、半導(dǎo)體專(zhuān)項(xiàng)選型步驟（優(yōu)先級(jí)排序）

　　工況匹配（優(yōu)先級(jí)1）

　　真空/潔凈室→無(wú)軸承無(wú)框架RO系列+密封電纜+真空涂層

　　高速（>30,000RPM）→RO2010/RO3620+G1.0動(dòng)平衡

　　寬溫/化學(xué)腐蝕→K級(jí)材質(zhì)+鈦合金轉(zhuǎn)子+高壓密封

　　安全關(guān)鍵/冗余需求→冗余雙輸出RO型號(hào)

　　機(jī)械集成（優(yōu)先級(jí)2）

　　定子外徑、氣隙、軸徑適配；安裝方式（壓接/法蘭/夾緊）

　　高速需G1.0級(jí)動(dòng)平衡；真空腔需無(wú)軸承無(wú)框架+密封航空插頭

　　電氣與信號(hào)處理（優(yōu)先級(jí)3）

　　電源頻率（400Hz至10kHz）、電壓、輸出信號(hào)類(lèi)型與RDC兼容

　　電纜長(zhǎng)度與屏蔽，適配半導(dǎo)體EMC要求；可定制冗余雙輸出

瑞士Admotec Precision變壓器RO系列